关于发布2024年度国家自然科学基金指南引导类原创探索计划项目 ——“先进IC制造装备基础前沿”申请指南的通告
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2024/11/01 10:01
摘要：各有关单位， 为贯彻落实党中央、国务院关于加强基础研究和提升原始创新能力的重要战略部署，国家自然科学基金委员会工程与材料科学部拟资助“先进IC制造装备基础前沿”原创探索计划项目。面向更小线宽、更高产率、更高良率集成电路（（IC）制造的先进装备，体现了材料、制造、工程热物理、电气等领域诸多项尖端技术的高度集成，是全球科技竞争的前沿领域和战略高地。当前，亟需开展装备技术背后的基础前沿问题研究，...
各有关单位，
为贯彻落实党中央、国务院关于加强基础研究和提升原始创新能力的重要战略部署，国家自然科学基金委员会工程与材料科学部拟资助“先进IC制造装备基础前沿”原创探索计划项目。面向更小线宽、更高产率、更高良率集成电路（（IC）制造的先进装备，体现了材料、制造、工程热物理、电气等领域诸多项尖端技术的高度集成，是全球科技竞争的前沿领域和战略高地。当前，亟需开展装备技术背后的基础前沿问题研究，破解我国相关领域被“卡脖子”困局，为我国先进IC制造装备的自主可控研制提供支撑。
一、科学目标
本项目围绕先进IC制造装备研制面临的基础科学难题，旨在通过揭示材料设计与制备、先进制造与精密测量、流质输控与热质传换、运动驱动与振动抑制等基础前沿问题，形成针对先进IC制造装备的新材料、高精密制造、超精密测量、高精度流质输控、高速率低波动运动驱动的新理论与新方法，支撑我国先进IC制造装备的自主研发。
二、资助方向
（一）光学透镜材料深紫外辐照性能退化机理与抗辐照新材料设计。
（二）高性能阻尼材料的振动抑制机理与设计方法。
（三）有机物紫外降解机理与痕量总有机碳检测方法。
（四）纳米颗粒学散射粒径测量与精确计数。
（五）大口径光学元件深紫外波段偏振性能测量方法。
（六）运动台动力学性能及运动稳定机理。
（七）运动台冗余驱动与精密运动的测量和控制方法。
（八）大面积小线宽多层金属线版图设计与零缺陷制造。
（九）局部微小空间内气浴流场温度均匀性设计方法。
（十）极紫外学源靶滴等离子化能量演变机理与碎屑高效输运。
（十一）电机与驱动器高精度建模及测试验证回归。
三、资助计划
本原创项目资助期限为2年，申请书中研究期限应填写“2025年1月1日－2026年12月31日”。计划资助10-12项，平均资助强度150万/项。
四、申请要求
（一）申请资格。
具有承担基础研究项目（课题）或其他基础研究经历的科学技术人员均可提出申请。
（二）限项申请规定。
1.申请人同年只能申请1项原创项目（含预申请）。
2.原创项目从预申请开始直到自然科学基金委做出资助与否决定之前，不计入申请和承担总数范围，获资助后计入申请和承担总数范围。
3.应符合《2024年度国家自然科学基金项目指南》中对申请项目数量的限制。
1.预申请提交时间为
2024年11月12日－11月13日16:00时
，以国家自然科学基金网络信息系统提交时间为准，在提交时间之外提交的申请将不予受理。
2.
提交申请之前务必与工程与材料科学部工程科学二处电话联系，咨询项目指南的需求背景
。
其他详细填写要求请见附件指南要求。
（二）正式申请。
预申请审查通过的申请人，应按照“专项项目-原创探索计划项目正式申请书撰写提纲”要求填写正式申请书（具体要求见附件指南）。
（三）咨询方式。
1.填报过程中遇到的技术问题，可联系自然科学基金委信息中心协助解决，联系电话：010-62317474。
2.其他问题可咨询工程与材料科学部工程科学二处，电话：010-62327084。
科研部项目管理办公室，张博、刘雅婷 022-85358853
六、校内申报流程：
1.请各二级单位认真研究指南内容（一切要求以具体附件指南通知为准），定向动员相关领域科研人员积极牵头组织或参与项目申报，将意向申报的老师名单于11月08日前发送至xmb@nankai.edu.cn，以便做好相关组织服务工作。
2.请牵头申报项目的负责人提前与科研秘书或科研部联系在系统授权项目申报权限。
3.建议老师们至少提前一周提交申报材料做形式审查。
未联系学院或科研部任何人自行提交后造成系统提交不成功由个人承担后果。
请
材料学院、物理学院、化学学院、电光学院、人工智能学院、智能光子研究院重点关注
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